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　　记者丨彭新 裁剪丨朱益民 刘雪莹

　　近期，当作半导体制造最中枢秩序的光刻机赛谈走热，国产产业链关联标的在二级市集热度空前，A股光刻机产业链标的波动，高度诱骗着市集的眼神。

　　9月24日，21世纪经济报谈记者在上海国度会展中心举办的第二十五届中国国际工业展览会上看到，上海微电子（SMEE）展台上初度公开亮相极紫外（EUV）投影微场曝光安装，过头部分时代本色的对外皮露。

　　行业脉动获胜传导至二级市集，重复近期半导体行业加价预期不休催化的影响，光刻机见解涨势如虹。

　　9月24日，光刻机见解龙头张江高科（600895.SH）涨停，股价再创历史新高；同时，江丰电子（300666.SZ）涨超17%，协调化学（301209.SZ）、前卫精科（688605.SH）、洪田股份（维权）（603800.SH）、富创精密（688409.SH）涨超5%。时候线拉长，拆除9月26日，Wind光刻机指数近一年涨幅近130%，其中9月24日创下阶段新高。

　　凭据张江高科此前互动易清楚音问，公司通过子公司上海张江浩成创业投资有限公司投资了上海微电子公司22345万元，持有上海微电子公司10.779%的股权。

　　江丰电子为光刻工艺的前谈工序（千里积）提供要津材料，并为后谈工序（刻蚀）等关联设备提供精密零部件。

　　据其此昨年报清楚，江丰电子研发的“半导体用多层薄壁钛合金扩散焊合容颜”，用于制备28nm以下节点的光刻机中枢冷却部件，已投入量产阶段，有望切入光刻机设备中枢部件领域。

　　关于光刻机市集，中航证券研报指出，中国大陆光刻机市集空间广袤，但主要依赖荷兰、日本等地入口。

　　出口顾问暗影下，光刻机供给省略情趣上涨，走向自主可控已无可隐没。

　　待战胜的高地

　　光刻机决定了半导体加工的最细线宽，通过曝光和光刻胶使晶圆名义产生电路图形，是芯片制造中最复杂的设备。设备的中枢包括光源系统、照明系统/投影光学系统以及用于保持晶圆和掩膜通达的双工件台，其中每个系统都由数万个致使十万多个零件组成。

　　当今市集上的光刻机主要分为g-line、i-line、KrF、ArF、EUV五代，销售结构以中低端的KrF、i-line为主，ArFi、ArF、EUV占比较小，EUV是专家光刻机的症结发展标的之一。

　　从专家市集来看，阿斯麦（ASML）独占鳌头，成为惟一的一线供应商，占据专家未必以上的市集；旗下居品粉饰一齐级别光刻机，把持最高端的EUV市集。ASML 2025年二季度财报暴露，其净销售额为77亿欧元，环比持平，同比增长23%；净利润为23亿欧元，环比下跌约2.8%，同比增长45%。该季度，ASML的光刻机系统销售收入为56亿欧元，其中EUV销售额为27亿欧元，非EUV销售额为29亿欧元；当季售出EUV 11台、DUV 64台。

　　ASML以外，日本光刻机双雄尼康、佳能的市集份额仅在个位数踌躇。尼康凭多年累积勉守二线，佳能位居第三；两者出货亦以纯熟制程设备为主。佳能主要联结在i-line领域，并在时代上押注纳米压印光刻；尼康除EUV外均有涉猎。

　　与国际龙头比较，国产光刻机全体仍有昭彰距离。

　　东兴证券研报指出，光刻机国产化率仅2.5%，上海微电子为国产光刻机十足龙头。当今，上海微电子是中国第一家亦然惟逐个家光刻机厂商，出货量占国内市集份额超过80%，居品主要波及ArF、KrF和i-line领域，已具备90nm及以下的芯片制造才智。

　　华金证券合计，在居品上，上海微电子对标佳能，齐用于纯熟制程，浸没式居品暂未推出。当今，上海微电子已量产光刻机主要有SSX600、SSX500、SSB300、SSB200小Mask、SSB200大Mask等系列。其中，SSX600系列步进扫描投影光刻机接纳四倍收缩倍率的投影物镜、工艺自妥贴调焦调平时代，以及高速高精的自减振六摆脱度工件台/掩膜台时代。

　　“零到一”冲破预期升温

　　由于地缘政事身分，中国大陆的芯片产线无法买到ASML出产的EUV，制程上一直逾期于台积电，当今，市集对国产光刻机产业链完了冲破的生机在急剧升温。

　　东兴证券研报指出，当今，中国光刻机制造商在濒临时代挑战和供应链问题时，产能和产量仍然受限。

　　近些年中国光刻机国产化程度加速，产业赢得一定发展，但与国际开始水平比较仍存在时代法例，尤其是高端光刻机时代受制于国外供应商，需要高下流齐心合力攻坚。

　　国内光刻机产业链主要包括上游设备及配套材料、中游光刻机系统集成和出产，以及下流光刻机运用三大秩序。

　　华金证券研报暴露，光刻机产业链中“卡脖子”秩序，时代累积较深或已获胜/蜿蜒投入ASML/上海微电子等供应链的厂商包括：芯碁微装（688630.SH，直写光刻）、富创精密（零部件）、炬光科技（688167.SH，光学器件）、赛微电子（300456.SZ，物镜）、波长光电（301421.SZ，光源）、奥普光电（002338.SZ，整机）、腾景科技（688195.SH，光学器件）、福晶科技（002222.SZ，光源）、茂莱光学（688502.SH，光源）、电科数字（600850.SH，算计/限度模块）、新莱应材（维权）（300260.SZ，零部件）、好意思埃科技（688376.SH）/蓝英装备（300293.SZ）（洁净设备）、同飞股份（300990.SZ）/海立股份（600619.SH）（温控）、东方嘉盛（002889.SZ，劳动）、上海微电子（整机，未上市）、华卓精科（工件台，未上市）。

　　21世纪经济报谈记者梳剪发现，当今，我国在光刻机各细分时代领域均有储备。

　　针瞄准分子激光光源，科益虹源主要研发248nm准分子激光器、干式193nm准分子激光器等；福晶科技研发KBBF晶体；中科院研发40瓦干式准分子激光光源。针对光学镜头，国望光学研发90nm节点ArF光刻机曝光光学系统、110nm节点KrF光刻机曝光光学系统；中科科仪研发直线式劳埃透镜镀膜安装、纳米聚焦镜镀膜安装等。

　　需要安妥的是，“光刻机”在不同语境下可能指代用于芯片制造的高端光刻机，也可能是用于PCB（印刷电路板）等领域的直写光刻设备（LDI）。

　　21世纪经济报谈记者安妥到，近期A股多家上市公司在互动易或公告中清楚了自己在光刻机或半导体领域的关联布局。

　　4月14日，国林科技（300786.SZ）在互动平台默示，当今公司电子级超纯臭氧气体发生器和半导体级高浓度臭氧水系统设备部分型号已赢得小批量订单，占主贸易务收入比重较小。此前，公司称臭氧在电子工业领域可被世俗用于酿成CVD和ALD薄膜、氧化物孕育、光刻胶去除和多种清洁运用。

　　9月18日，南京化纤（600889.SH）公告称，当作南京工艺的惟一鼓舞，将通过调治后的处治结构对南京工艺业务、钞票引申灵验管控。频年来南京工艺积极拓展高端市集，已在多个高端运用领域赢得冲破。在半导体领域，南京工艺当今已为光刻机、刻蚀机、封装设备以及晶圆搬运等方位提供配套。

　　9月19日，波长光电（301421.SZ）在回报投资者发问中称，公司主营万般光学元件、组件及系统有揣测打算，为整机设备、仪器厂家提供配套，部分居品可运用于半导体设备上，但公司暂不掌抓终局的具体信息，且当今公司在半导体领域的营收鸿沟较小。关于拓展关联行业的客户群体，基于诡秘性原则，无法汇报具体信息。

　　9月25日，捷众科技（873690.BJ）清楚，公司客户浙江启尔机电专注于高端半导体装备超洁净流控系统过头要津零部件的研发、出产和销售，为光刻机提供超洁净流体处理设备。

　　需要明确的是，单点时代冲破和单个公司的研发仍难以让国产光刻机通达花样。参看ASML发展历史，其与高下流产业链龙头公司致密配合，产学研潜入发展带动了时代雠校。

　　中航证券指出，光刻机当作高壁垒、重成本、高风险的行业，其发展有赖“举国体制”之力，需要国度牵头、科研院所与要津公司参与，方可完了供应链自主可控。而当作国内光刻机发展风向标的上海微电子和几大院所的科技研发效果，尤其值得永久温雅。

职守裁剪：凌辰